次世代パターン用直接描画装置「LeVina」を開発 株式会社SCREENホールディングスはこのほど、「デジタル×グリーン化」へとメガトレンドが変化しつつある先端パッケージングの大きな変革に合わせ、高精細パターン形成に対応する次世代パターン用直接描画 ...