ダイヤモンドウエハーとシリコンウエハーは高温で接合するほど熱反りが減少することを実証 ポイント　 ・ ダイヤモンドとシリコンでは、高い温度で接合するほど常温に戻した際の熱反りが低下 ・ 化学・高温プロセスで剥離せず、かつ微細描画が可能なダイヤモンド/シリコン複合ウエハーを実現 ・ ...